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激光分子束外延系統(tǒng)基本配置的介紹
日期：2025-01-29 12:43
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摘要：
激光分子束外延系統(tǒng)集PLD的制膜特點和傳統(tǒng)MBE的超高真空**控制原子尺度外延生長的原位實時監(jiān)控為一體，除保持了PLD方法制備的膜系寬，還可以生長通常的半導(dǎo)體超晶格材料，特別適合生長多元素、高熔點、復(fù)雜層狀結(jié)構(gòu)的薄膜，如超導(dǎo)體、光學(xué)晶體、鐵電體、壓電體、鐵磁體等，同時還能進行其相應(yīng)的激光與物質(zhì)相互作用和成膜過程的物理、化學(xué)等方面的基礎(chǔ)研究。
基本配置如下：
沉積腔體程控系統(tǒng)
多靶材操作系統(tǒng)
激光二極管基板加熱系統(tǒng)
反射高能電子衍射儀系統(tǒng)
單軸組合光罩定位裝置
加載互鎖傳送真空室
準分子激光器系統(tǒng)
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